SIOS激光干涉仪SP 5000 NG

高精度和可靠的结果对于导轨、测量平台、显微镜和定位平台、三坐标测量机和机床以及多坐标测量的长度测量和校准至关重要。我们的通用型 SP 5000 NG 激光干涉仪是您进行高精度长度测量的解决方案，并可随时为您的新测量项目添加产品系列中的其他组件。SP 5000 NG 干涉仪结构紧凑，操作简单，调整快速方便。它能在不同的环境和工作条件下提供高精度的测量结果。使用内置传感器，干涉仪可以轻松、快速、准确地对准。这意味着可以避免由于传感器对准不正确而造成的误差。干涉仪还提供真空版本。激光干涉仪的设计既紧凑又坚固，其外壳具有防溅功能，光纤电缆可以包覆，以防止机械损伤。

用于高精度长度测量的激光干涉测量系统

灵活的长度测量系统，精度高

集成光束方向检测功能，易于操作和调整

可使用各种光学反射镜，例如三面镜、球面镜、平面镜反射镜

测量反射镜的允许倾斜度可达 ± 22.5°

结构紧凑、坚固耐用

传感器外壳具有防水溅保护装置

可溯源至国家标准

广泛的触发选项

可选接口扩展了应用范围

传感器头可选择铝质、不锈钢或英钢制成

可提供 OEM 版本、OEM 软件和真空版本

可根据要求提供其他接口 (/R)

产地：德国

测量范围：0 至 ≥ 5 m

分辨率：5 pm

Max允许倾斜角度

反射镜中支点：±12.5°

平面镜反射器：±430 µrad

稳定条件下的测量不确定性 长度测量：0.15 µm/m

波长：632.8 nm

氦氖激光器的频率稳定性（磨合时间后）：2·10^-8

氦氖激光器的磨合时间：10 至 20 分钟

工作温度范围：15 至 30 ℃

Max位移速度：3 m/s

带调节接头的传感器头尺寸（宽x深x高）：133 x 91 x 54 mm

反射镜尺寸：Ø 15 x 15 mm

标准电子供电和评估装置尺寸（宽x深x高）：450 x 400 x 150毫米

紧凑型电子供电和评估装置尺寸（宽x深x高）：250 x 400 x 150毫米

传感器头 调整接头重量：650 g

反射器重量：8 g

电子评估和供应装置重量 AE（标准）：约 8 kg

电子评估和供应单元重量 AE（紧凑型）：约 5.7 kg

标准接口：RS232C、USB

传感器头和电子单元之间的电缆长度：3 米，可选 10 米

电源：100 至 240 vac / 47 至 63 Hz

符合 EN 60825-1:2014 和 ANSI Z136.1 (CDRH) 标准的激光防护等级：2M II

导轨、测量平台、显微镜、定位平台、三坐标测量机、机床、多坐标测量的长度测量和校准