NUMERIK JENA光栅尺LIK41 vac

LIK系列光栅尺特别适用于安装空间有限的应用。自带2场EPIFLEX读数模块，也适用于恶劣的应用环境。

• 真空版LIK 21，外壳版本1
• 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
• 光栅尺部件满足真空度达10 E-9 mbar（UHV）的气压要求
• 支持150 °C时12小时的加热周期
• 1 Vpp或RS 422输出信号
• 多达100倍的细分信号
• 最小测量步距仅50 nm
• 运动速度达10 m/s（1 Vpp）