新型耐腐蚀 MEMS PIRANI 真空传感器带来模式转变

几十年来，MEMS Pirani 传感器一直被用于许多不同的真空应用中，以测量和控制真空气体压力。MEMS Pirani 技术有很多优点，但到目前为止，由于其暴露在外的材料，该技术的使用和适用范围受到了限制。半导体行业常用的腐蚀性气体和侵蚀性蚀刻工艺会损坏传统的 MEMS Pirani 传感器，因此电容式隔膜真空计和对流式 Pirani 真空计一直是半导体工艺暴露和其他恶劣环境下的理想选择。

Sens4 现推出一系列新型 MEMS 皮拉尼传感器，其保形保护涂层可有效阻隔腐蚀性气体。根据不同的应用，SmartPirani传感器系列现在可选配陶瓷或聚对二甲苯保护层，以防止传感器材料的腐蚀或氧化。

陶瓷具有很强的耐腐蚀性，是电容式隔膜真空计中真空传感器隔膜的理想材料。陶瓷阻隔层选项专为半导体蚀刻和 CVD 应用而设计。

聚对二甲苯是一种独特的聚合物，具有高度耐腐蚀性和疏水性。Parylene 阻隔层专为医疗应用而设计，包括但不限于冻干和灭菌。 

在某些应用中，微粒会损坏真空计，针对这些应用，SmartPirani 传感器配有保护性挡板，可作为宏观微粒的屏障。结合涂层选项，新型 SmartPirani传感器可用于恶劣的真空环境。

“Sens4 A/S 首席执行官 Ole Wenzel 表示："很明显，我们在 2019 年推出的 MEMS SmartPirani传感器技术在性能和坚固性方面都优于对流线皮拉尼真空计。”Ole继续说道：“我们在各行各业都体验到，客户希望从老式的对流线皮拉尼真空计转向更先进的现代真空计，而保护涂层则是扩大我们传感器技术应用领域的一个推动因素。”

Sens4 A/S 首席技术官 Caspar Christiansen补充说：“我们不仅在皮拉尼传感器上推出了保护屏障选项，还在压电膜片上推出了不受气体类型和浓度影响的测量功能。”卡斯帕继续说道：“这种强大的耐腐蚀组合可提供同类的测量性能，测量范围从 1E-6 到 1333 mbar，测量精度从 2 到 1333 mbar，不受气体类型的影响。”